Производитель | ERSTEVAK Ltd. |
Максимальная температура, °С | 1300 |
Масса садки, кг | 800 |
Однородность температуры, °C | ±5 |
Размеры рабочей камеры, мм | Ø700х1100 |
Серия | VC |
Предельный вакуум, мбар | 5х10-3/4х10-1 |
Давление газа, бар | 6/10 |
Количество рабочих камер | 1 |
Рабочий газ | CH4/C2H2+N2 |