Производитель | ERSTEVAK Ltd. |
Максимальная температура, °С | 1350 |
Масса садки, кг | 850 |
Мощность нагрева, кВт | 180 |
Однородность температуры, °C | ±5 |
Размеры рабочей камеры, мм | Ø800х800 |
Серия | VH |
Предельный вакуум, мбар | 4х10-3/6х10-4 |
Давление охлаждающего газа, бар | 2/6/10 |
Рабочий газ | Ar/N |