Производитель | ERSTEVAK Ltd. |
Максимальная температура, °С | 1350 |
Масса садки, кг | 250 |
Мощность нагрева, кВт | 75 |
Однородность температуры, °C | ±5 |
Размеры рабочей камеры, мм | 400х400х600 |
Серия | VH |
Предельный вакуум, мбар | 4х10-3/6х10-4 |
Давление охлаждающего газа, бар | 2 |
Рабочий газ | Ar/N |