Производитель | ERSTEVAK Ltd. |
Максимальная температура, °С | 750 |
Масса садки, кг | 1200 |
Мощность нагрева, кВт | 180 |
Однородность температуры, °C | ±5 |
Размеры рабочей камеры, мм | 800х800х1200 |
Серия | VT |
Предельный вакуум, мбар | 5×10-2/5×10-5 |
Давление охлаждающего газа, бар | 0,8–2 |
Рабочий газ | Ar/N |